;该机型单台售价超3.5亿欧元，折合人民币近28亿元，远超行业现有设备水平。 张晓强直言新一代设备“非常非常贵”，并表示现有EUV设备仍能充分发挥价值，满足当前生产与研发需求。 这款光刻机是支撑1.4nm及以下先进制程的核心装备，分辨率与制程能力显著优于上一代，但成本也同步大幅攀
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